Ampiamente impiegate nei processi di incisione a umido, pulizia e strippaggio dei wafer, sistemi di erogazione di acqua ultra-pura (UPW), sistemi di distribuzione chimica (CDS), lavaggio dei gas di scarico, trattamento delle acque reflue e sistemi speciali di assorbimento di gas, le pompe a trascinamento magnetico trasportano in modo affidabile fluidi complessi e di elevata purezza-tra cui acido solforico, acido nitrico, acido fluoridrico, idrossido di ammonio, fotoresist e slurry CMP.
A causa delle rigorose specifiche del processo, le operazioni in loco-si trovano spesso ad affrontare sfide critiche: rischio elevato di contaminazione media, stabilità di trasferimento insufficiente, scarsa compatibilità con fluidi altamente corrosivi, costi di manutenzione elevati, perdite sostanziali di tempi di inattività, pressione rigorosa-a prova di esplosione e conformità di sicurezza e difficoltà nel controllo della pulizia.
Per affrontare questi punti critici, Shaanxi Hono Electronic Technology Co., Ltd. adotta pompe a trascinamento magnetico completamente fluorurate o non metalliche di elevata purezza-non-per soddisfare diverse condizioni di lavoro, come acqua ultra-pura, sostanze chimiche di elevata-purezza, acidi e alcali altamente corrosivi e liquami contenenti particelle-. Progettiamo un'architettura di sistema modulare composta da pompa singola/pompa ridondante + tubazioni di processo + unità di controllo + accessori di sicurezza. Collegando il controllo di base integrato della pompa-con il sistema di controllo PLC e dotato di regolazione della velocità a frequenza variabile, diagnosi automatica dei guasti e funzioni di protezione, il sistema realizza un controllo preciso del flusso e della pressione, nonché un funzionamento stabile. Supporta inoltre la commutazione automatica tra le pompe primarie e quelle di riserva per garantire il funzionamento ininterrotto della linea di produzione.
1. Soluzione personalizzata con pompa singola:Modelli di pompe e materiali a contatto con il fluido personalizzati in base alle proprietà del fluido e ai parametri di processo.
2. Integrazione del quadro elettrico:Armadi di controllo personalizzati di tipo pulito,-a prova di esplosione-integrati con moduli di controllo della conversione di frequenza, allarme di guasto, acquisizione dati e comunicazione remota.
3. Progettazione e ottimizzazione delle tubazioni:Design delle tubazioni a semiconduttore clean-grade (PFA/acciaio inossidabile EP-ad elevata purezza), con percorso della tubazione e configurazione della valvola ottimizzati.
4. Integrazione e messa in servizio dell'automazione:Connessione perfetta con i sistemi DCS/PLC esistenti in fabbrica per realizzare il controllo del collegamento tra le unità di pompaggio e le apparecchiature di processo. Vengono forniti servizi di guida, messa in servizio e convalida in-installazione in loco per garantire che il sistema soddisfi rigorosi requisiti di pulizia e stabilità.



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