Introduzione
L'HD70Rpompa magnetica elettronicaè un'unità di trasferimento di fluidi ad alta-precisione sviluppata esclusivamente per l'industria manifatturiera elettronica, che funziona come una pompa magnetica chimica di precisione e un sistema di pompa magnetica ultra pulito. Adottando una struttura a trascinamento magnetico senza guarnizioni, garantisce zero perdite e zero contaminazioni durante tutto il funzionamento, nel pieno rispetto dei rigorosi standard di pulizia per le officine elettroniche.
Tutte le parti a contatto con il fluido sono realizzate con materiali puliti ad altissima-purezza con superfici lucidate con precisione, senza precipitazione di sostanze o contaminazione ionica. Fornisce un trasferimento stabile di reagenti elettronici di-grado elevato-purezza, prodotti chimici fotoresist e acqua ultra-pura. Caratterizzato da un interno ottimizzato e privo di-spazi morti-, questo sistema di pompa magnetica ultra pulito supporta la pulizia in linea per prevenire efficacemente residui medi e contaminazione incrociata-. Con un basso rumore, pulsazioni minime e una portata precisa e stabile, l'HD70R opera continuamente 24 ore su 24, 7 giorni su 7 su linee di produzione per semiconduttori, circuiti stampati ed elettronica di precisione. È la scelta ideale per il trasferimento di fluidi ultra-pulito e di alta-precisione nel settore elettronico.
Schema strutturale del prodotto
Parametro tecnico
Modello | Interfaccia del tubo | Interfaccia a spiraleR-M RX-MRZ-M | Capacità massima (l/min) | Prevalenza massima (m) | Peso specifico | Motore | Peso (kg) | |||
Ingresso (mm) | Uscita (mm) | Ingresso/Uscita | Dimensioni del giunto (mm) | 50Hz/60Hz | 50Hz/60Hz | Uscita (w) 50Hz/60Hz | Fase | |||
HD70R | 26 | 26 | G1 | 20 | 86/97 | 6.7/9.7 | 1.0 | 150/180 | 1o3 | 6.6 |
Curva di prestazione
Vantaggi principali
1. Materiale di purezza ultra-elevata, precipitazione ionica pari a zero
Le parti a contatto con il fluido sono realizzate con materiali elettronici dedicati-di elevata-purezza con uno speciale trattamento di purificazione. Rispetto alle pompe magnetiche standard, riduce notevolmente la precipitazione di ioni metallici e impurità organiche, prevenendo efficacemente la contaminazione di reagenti di elevata purezza e soluzioni di fotoresist ed è ideale per processi di elevata pulizia come la produzione di semiconduttori.
2. Erogazione di micro-flusso di precisione con pulsazioni basse
Costruita con un'elaborata struttura idraulica, la pompa magnetica chimica di precisione HD70R offre una precisione di controllo del flusso superiore e una pulsazione del fluido estremamente bassa. Non influisce sulla composizione dei prodotti chimici di precisione e soddisfa i severi requisiti di flusso e pressione altamente stabili nella produzione elettronica.
3. Canale di flusso libero Full Mirror-dead{2}}space-lucido
La cavità della pompa integralmente aerodinamica è completamente lucidata a specchio senza spazi di giunzione, superando gli standard di pulizia delle normali pompe pulite. Non lascia residui dopo la pulizia ed evita sostanzialmente la contaminazione incrociata-tra diversi mezzi ad elevata{2}}purezza.
4. Protezione completamente sigillata contro le particelle esterne
Come parte del sistema di pompa magnetica ultra pulito, la struttura completamente chiusa impedisce alla polvere dell'officina e alle particelle sospese di entrare nella pompa. Si adatta all'ambiente operativo delle officine elettroniche-prive di polvere e mantiene i mezzi trasportati sempre in condizioni ultra-pulite.
5. Operazioni stabili a lungo termine-per una produzione-ininterrotta
I componenti di trasmissione e supporto calibrati con precisione-garantiscono vibrazioni e rumore ultra-bassi nonché un'eccezionale resistenza alla fatica. La pompa supporta il funzionamento continuo 24 ore su 24, 7 giorni su 7, per garantire una produzione ininterrotta su linee di produzione elettroniche.
Applicazioni tipiche
● Trasporto-a circuito chiuso dello sviluppatore per fotolitografia di semiconduttori
Adottando il trattamento di purificazione del doppio materiale, l'HD70Rpompa magnetica elettronicaelimina la precipitazione di ioni metallici in tracce, previene il guasto fotosensibile dei prodotti chimici per fotolitografia e stabilizza la resa dei wafer.
● Trasporto di filiali a-basse pulsazioni di acqua ultra-pura per fabbriche di pannelli
Dotata di giranti idrauliche a-basse{1}}pulsazioni sviluppate internamente, questa pompa magnetica chimica di precisione mantiene la fluttuazione del flusso d'acqua al di sotto del 3% senza distruggere la struttura molecolare stabile dell'acqua ultra-pura, rispettando i rigorosi standard di trasporto dell'acqua ultra-pura per le officine con pannelli a luce gialla-.
● Trasporto alternato di più estrattori di fotoresist in officine-prive di polvere
Dotato di passaggi di flusso senza giunture lucidati a specchio e di una protezione esterna completamente chiusa, evita la-contaminazione incrociata di sostanze chimiche liquide e impedisce alle particelle sospese nell'aria di mescolarsi ai liquidi convogliati in officine prive di polvere-.
Dimensione (millimetro)
Modello | W | H | L | a | b | c | h | e | f | g | i |
HD70R | 143 | 158 | 286 | 70 | 96 | 108 | 65 | 56.5 | 43 | 135 | 4-9*14 |
Domande frequenti
D: Gli ioni metallici precipiteranno durante il trasferimento di liquidi chimici nei semiconduttori a causa di un grado di purificazione del materiale insufficiente?
R: In condizioni di lavoro conformi non si verificherà una precipitazione ionica eccessiva. I componenti in PTFE bagnati della pompa magnetica chimica di precisione HD70R adottano un doppio processo di purificazione di "screening primario della polvere e sinterizzazione secondaria sotto vuoto" per rimuovere i detriti metallici incorporati all'interno della polvere. Il test di fabbrica di terze parti- mostra che la precipitazione degli ioni metallici è costantemente inferiore o uguale a 0,1 ppb, che è conforme agli standard SEMI S22 per i fluidi per semiconduttori ad alta-purezza. Supporta il trasferimento ininterrotto a circuito chiuso-24 ore su 24, 7 giorni su 7 ed evita la contaminazione dei prodotti chimici di precisione dei semiconduttori.
D: Le particelle sospese nell'aria nelle officine-prive di polvere possono entrare nella cavità della pompa attraverso gli spazi di dissipazione del calore e interrompere la produzione di semiconduttori e pannelli?
R: Ciò non avverrà in condizioni di lavoro standard-senza polvere. Adottando una struttura di dissipazione del calore passiva a sandwich chiuso, HD70Rpompa magnetica elettronicaelimina tutti i fori cavi di dissipazione del calore esposti. Su tutti gli spazi tra le estremità della trasmissione-sono installate guarnizioni antipolvere microporose in PTFE anti-statico-che soddisfano le esigenze di dissipazione del calore dei componenti magnetici e intercettano le particelle sospese nell'aria maggiori o uguali a 0,05μm, soddisfacendo i requisiti di utilizzo per officine prive di polvere-ISO Classe 1.
D: Dove acquistare l'HD70Rpompa magnetica elettronica?
R: Puoi contattare il nostro team di vendita tramite e-mailjuicy@sxhono.com.cnper ottenere specifiche di prodotto, quotazioni e consigli sulla selezione. Se avete requisiti applicativi speciali, possiamo anche fornirvi soluzioni personalizzate per il trasferimento dei fluidi.
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