Introduzione
L'HD100Rpompa magnetica a semiconduttoreè un'apparecchiatura di trasferimento professionale realizzata su misura-per l'industria dei semiconduttori. Dotato di una struttura a trascinamento magnetico senza guarnizioni, garantisce zero perdite e zero contaminazioni esterne durante tutto il funzionamento, soddisfacendo pienamente i requisiti di pulizia di alto-livello delle officine di semiconduttori.
Le parti a contatto con il fluido di questa pompa magnetica in PTFE per semiconduttori sono realizzate in PTFE ad elevata-purezza, che resiste a vari prodotti chimici altamente corrosivi per semiconduttori senza precipitazione ionica o permeazione del mezzo. Trasferisce in modo sicuro sostanze chimiche speciali come soluzioni di incisione, soluzioni detergenti e reagenti ad alta-purezza. Il corpo della pompa formato integralmente, privo di-spazi morti-con superficie ad alta-lucidità, consente una pulizia accurata e previene efficacemente residui medi e contaminazione incrociata-. Essendo una pompa magnetica affidabile per prodotti chimici semiconduttori, funziona costantemente con vibrazioni ridotte e supporta il funzionamento continuo 24-ore. Ampiamente utilizzato nella fabbricazione di wafer, nel confezionamento di chip e nei processi a umido dei semiconduttori, funge da dispositivo principale per il trasporto di sostanze chimiche corrosive di elevata purezza nel settore dei semiconduttori.
Schema strutturale del prodotto
Parametro tecnico
Modello | Interfaccia del tubo | Interfaccia a spiraleR-M RX-MRZ-M | Capacità massima (l/min) | Prevalenza massima (m) | Peso specifico | Motore | Peso (kg) | |||
Ingresso (mm) | Uscita (mm) | Ingresso/Uscita | Dimensioni del giunto (mm) | 50Hz/60Hz | 50Hz/60Hz | Uscita (w) 50Hz/60Hz | Fase | |||
HD100R | 26 | 26 | G1 | 20 | 120/135 | 8.6/11.9 | 1.2 | 260/265 | 1o3 | 8.1 |
Curva di prestazione
Vantaggi principali
1. PTFE ad alta-purezza formato integralmente con eccellente resistenza alla corrosione
Le parti a contatto con il fluido di questa pompa magnetica in PTFE per semiconduttori sono stampate integralmente a compressione-con PTFE addensato ad alta-purezza. Rispetto alle tradizionali pompe in PTFE giuntato, presenta una resistenza notevolmente migliorata alla permeazione di sostanze chimiche altamente corrosive e una maggiore resistenza alla pressione. È pienamente applicabile alla fornitura a lungo-termine di soluzioni di incisione e stripper ad alta-concentrazione per semiconduttori e previene la delaminazione del materiale, il rigonfiamento e la precipitazione di ioni.
2. Struttura ad alto-flusso per una distribuzione stabile
Il modulo idraulico personalizzato ad alto-flusso è progettato per linee di semiconduttori-di produzione di massa. Offre un intervallo di flusso più ampio e un'uscita di pressione stabile per fornire liquido a più linee di processo a umido contemporaneamente, risolvendo i problemi di prevalenza insufficiente e drastica fluttuazione del flusso delle normali pompe magnetiche in condizioni di flusso elevato-.
3. Sistema di azionamento magnetico completamente sigillato-a carico elevato
Questa pompa magnetica per prodotti chimici semiconduttori è dotata di componenti di accoppiamento magnetico rinforzato aggiornati per una maggiore capacità di coppia. Combinato con un alloggiamento antipolvere e anticorrosione completamente sigillato, supporta il funzionamento continuo a lungo termine a pieno carico e a pieno carico e isola le particelle sospese nell'aria e i gas corrosivi nelle officine prive di polvere per proteggere le parti principali della trasmissione.
4. Design con cavità senza-capacità-spazio morto-di grandi dimensioni
La cavità allargata dell'HD100R adotta una transizione fluida ottimizzata senza angoli morti di ritenzione di liquidi. La sua parete interna-lucida consente una pulizia in linea-più rapida e approfondita. Ideale per la distribuzione alternata di vari prodotti chimici per semiconduttori, evita completamente i rischi di contaminazione incrociata.
5. Struttura resistente all'alta-pressione per condizioni complesse di tubazioni
L'alloggiamento della pompa e le parti di collegamento sono rinforzati per l'alta pressione, con una migliore capacità di carico rispetto a modelli simili. Si adatta a tubazioni complesse, consegne a lunga-distanza e pressione fluttuante delle tubazioni nelle officine di semiconduttori e funziona stabilmente senza perdite o deformazioni.
Applicazioni tipiche
● Trasporto a lunga-distanza di acido fluoridrico ad alta-concentrazione per l'incisione di wafer
Il materiale PTFE ispessito stampato a compressione-integrale dell'HD100R resiste alla permeazione a lungo-termine dell'acido fluoridrico, evitando la delaminazione e il rigonfiamento del guscio durante il trasporto ad alta-pressione su lunghe-distanze.
● Fornitura di liquidi centralizzata per linee di produzione parallele di semiconduttori con processo a umido
Dotata di un modulo idraulico dedicato ad alto-flusso, questa pompa magnetica industriale a semiconduttore presenta un'attenuazione estremamente bassa della prevalenza e della portata. Può fornire in modo stabile liquido a più di 3 linee di produzione di pulizia e incisione in modo indipendente, sostituendo l'implementazione parallela di più pompe magnetiche a piccolo flusso.
● Trasporto circolare alternato di prodotti chimici a base acida-diversificata per semiconduttori
Con una cavità espansa, liscia, priva di-spazi morti-e una parete interna ad alta-lucentezza, non lascia residui chimici dopo la pulizia in linea, prevenendo completamente la contaminazione incrociata-durante l'erogazione alternata di soluzioni di incisione e solventi e adattandosi alle condizioni di lavoro con frequenti cambi di prodotti chimici.
Dimensione (millimetro)
Modello | W | H | L | a | b | c | h | e | f | g | i |
HD100R | 156 | 174 | 335 | 70 | 100 | 110 | 74 | 65.5 | 44 | 147 | 4-9*27 |
Domande frequenti
D: Durante il trasporto di liquidi chimici su lunghe- distanze, l'impatto del ristagno dalle tubazioni causerà perdite e deformazioni della pompa a causa dell'insufficiente resistenza alla pressione?
R: Con il layout standard della tubazione non si verificherà alcuna caduta di pressione. La perdita di pressione è inevitabilmente presente nelle tubazioni dei liquidi che attaccano i semiconduttori a lunga distanza- ed è probabile che si verifichi un effetto di ristagno inverso durante l'arresto delle apparecchiature e la regolazione della pressione dei rami. In quanto pompa magnetica industriale a semiconduttore, l'HD100R adotta un rinforzo della pressione mirato per condizioni di lavoro di ristagno a lunga distanza. I rivestimenti rinforzati in fibra di carbonio sono incorporati nei giunti delle flange del corpo pompa e dei coperchi della pompa, con una resistenza alla pressione nominale fino a 1,6 MPa. Può compensare la pressione dinamica degli impulsi di ristagno della pipeline. Nel frattempo, l'involucro in PTFE stampato integralmente non presenta spazi di giunzione, prevenendo rotture dell'involucro e perdite di liquidi e supportando il trasporto chimico dei semiconduttori per oltre 100 metri.
D: La modalità di erogazione a flusso elevato-dell'HD100R ridurrà l'efficienza idraulica?
R: Non si verifica alcuna attenuazione dell'efficienza idraulica all'interno dell'intervallo di portata alta-nominata. Dotato di voluta a sezione larga-personalizzata e girante a vortice basso-inclinata in avanti, l'HD100R ottimizza l'adattamento della curvatura del percorso del flusso. La sua efficienza idraulica rimane stabilmente al di sopra del 78% in tutte le condizioni di lavoro a flusso elevato-nominato senza calo di efficienza con l'aumento della portata e garantisce una pressione di diramazione uniforme per l'alimentazione di liquido multilinea parallela-.
D: Dove acquistare l'HD100Rpompa magnetica a semiconduttore?
R: Puoi contattare il nostro team di vendita tramite e-mailjuicy@sxhono.com.cnper ottenere specifiche di prodotto, quotazioni e consigli sulla selezione. Se avete requisiti applicativi speciali, possiamo anche fornirvi soluzioni personalizzate per il trasferimento dei fluidi.
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